グロー放電質量分析法
(Glow Discharge Mass Spectrometry:GDMS)

原理

Ar雰囲気下で試料を陰極としてグロー放電を発生させ、プラズマ内で試料表面をスパッタし、イオン化された構成元素を質量分析計で測定する手法である。
主成分元素と目的元素のイオン強度比を相対感度係数(RSF)で補正して、半定量値を算出する。