走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope：SPM）

原理

SPMは、探針と試料表面の相互作用を検出する原子間力顕微鏡(AFM)の技術を基盤とし、試料表面の三次元形状に加えて様々な物性分布をナノメータスケールで評価する装置/分析手法群の総称である。例えば、高分子材料においては、摩擦力、粘性率、凝着性、弾性率の分布を観察できる。液中に固定した生体試料の観察も可能である。半導体材料では、キャリア濃度に依存する電気容量変化、拡がり抵抗、静電気力、表面電位、磁気力、トンネル電流の分布を観察できる。