水素前方散乱分析法（Hydrogen Forward scattering Spectrometry:HFS） 核反応解析法（Nuclear Reaction Analysis:NRA） 粒子線励起X線分析法（Particle Induced X-ray Emission:PIXE）

原理

HFS

試料に高速イオン(He⁺)を照射すると、試料中水素は弾性反跳により前方に散乱される。この反跳水素のエネルギーと収量から水素の深さ分布が得られる。

NRA

高速イオン照射により、試料中軽元素と核反応を起こすことができる。 この核反応により発生するα線、γ線を検出することにより、軽元素の高感度定量が可能である。

PIXE

高速イオン照射により、試料原子の内殻電子が電離され、特性X線が発生する。この特性X線を検出することにより、RBSでは分離困難な近接重元素の定量分析が可能となる。