マイクロビーム搭載新規RBS

マイクロビーム(ビーム径1 μm)によりデバイスの測定、イメージング測定が可能。軽元素の感度、重元素の質量分解能も大幅向上！
 

超高性能MS Orbitrap Fusion Lumos

世界最高の質量分解能(500,000)を有し、多段階MS、ETDを搭載。バイオ医薬品の糖鎖、抗体薬物複合体の薬物等の結合位置が解析可能に！

ナノオーダー赤外分光装置
 

1 μｍ以下の高空間分解能と非接触・高速二次元イメージング測定で、微小部・界面の組成分布を可視化！
 

高輝度X線源搭載 in situXRD
 

その場（in situ）X線回折測定で、充放電や昇温過程の構造解析などのニーズに対応。二次元イメージング測定も可能に！

Qバンド搭載高感度高温ESR
 

ラジカル種の定量評価に対し、従来機比10倍以上の高感度かつ高温測定(～900℃)が可能に！

最先端SIMS分析装置 NanoSIMS 50L

高空間分解能(50 nm)かつ高感度(ppmオーダー)で二次元及び三次元イメージング分析や微小領域の不純物分析が可能！