汚染

製品の製造プロセスにおいて、部材は様々な加工が行われるため、その工程で汚染が発生します。汚染は製品の歩留まりや信頼性に影響を及ぼすため、分析による汚染の同定、定量が必要となります。
汚染の濃度領域は広く、汚染成分も様々であるため、それに適した分析手法を選択することが重要です。また、汚染源の推定のためには、各種材料・薬液の不純物分析や環境エア中の汚染物質の分析も重要となります。
当社では、多岐に渡る高度な分析技術と豊富な経験により、お客様の問題解決のお手伝いをさせていただきます。

表面汚染の分析手法

汚染成分 分析手法
パーティクル 顕微FT-IR、顕微ラマン分光法、 SEM-XMA、EPMA、TOF-SIMS
酸、塩基 イオンクロマトグラフィー、キャピラリー電気泳動法、イオンクロマトグラフ-質量分析法
金属 ICP-MS、TXRF
有機物 ウェハアナライザー、熱脱離GC/MS、ATR-FT-IR、TOF-SIMS
表面濡れ性 接触角

不純物の分析手法

汚染成分 分析手法
酸、塩基 イオンクロマトグラフィー、キャピラリー電気泳動法、イオンクロマトグラフ-質量分析法
金属 ICP-MS、SIMS、GDMS
有機物 GC、GC/MS、熱脱離GC/MS、HPLC、LC/MS
液中パーティクル パーティクルカウンター、ゼータ電位

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