有機ELディスプレイ

有機ELディスプレイ(OLED)は、自発光型(面発光)・視野角が広い・応答速度が速い・薄い・消費電力が小さいなどの特徴があり、次世代のディスプレイの本命とも言われています。また、自発光という特徴から照明用途としても有望視されています。

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部位・部材 分析項目・目的 適用手法
有機膜
(薄膜)
特定部位における蛍光・発光分析 PL、 EL(スペクトルを含む)
組成・構造解析 GCIB-TOF-SIMS、HPLC-UV・FL、LC/MS、LDI-MS、低温プローブNMR
局所組成分析 µ-FT-IR、 µ-MS、 Raman
結晶性、 Tg評価 In-PlaneX線回折、 μ-TA、 Raman
配向状態 偏光FT-IR、 分光エリプソメトリ、Raman、XAFS
不純物、劣化生成物 GCIB-TOF-SIMS、HPLC-UV・FL、LC/MS、µ-FT-IR、 µ-MS、斜め切削+(PL、TOF-SIMS、FT-IR、XPS)
陰極材料拡散、 無機不純物 SIMS、Backside SIMS、HAXPES
膜密度 GIXR
膜厚、 光学定数測定 分光エリプソメトリ
断面観察、 局所元素分析 FIB-TEM、 TEM-EDX、TEM-EELS
膜の表面微細構造・粗さ評価 AFM
単膜の仕事関数 XPS
陰極 深さ方向元素分析 SIMS
表面組成・化学状態 XPS
有機材料 金属不純物 ICP、 ICP-MS
有機不純物、 劣化生成物 HPLC-UV・FL、 LC/MS、カラム分取+(FT-IR、NMR等)
熱物性(耐熱性) TG、 DSC
加熱発生ガス TPD-MS
TFT poly-Siグレインの粒度・配向解析 EBSP/EBSD
poly-Si不純物濃度分析 SIMS
ドーパント分布観察(LDD長の計測) SCM、 SSRM
透明電極 組成分析 RBS、 XPS
結晶性評価 XRD
Snの化学状態(酸素欠損・価数) 119Snメスバウアー
微細形状観察(ラフネス評価) SEM、 AFM
封止 封止缶内のガス分析 TPD-MS
封止樹脂からの発生ガス TG-MS
保護膜評価 SIMS、 RBS、 FT-IR

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