液晶ディスプレイ

液晶パネルでは、2枚の基板に挟んだ液晶分子の配向を変化させることで、光源からの光の透過を制御し、画像表示を行います。液晶分子、配向膜、透明電極、カラーフィルターなどの多層薄膜からなります。

分析メニュー

液晶パネル(表示異常など)

項目 分析項目・目的 適用手法
配向膜 配向膜自体の変性や
配向膜表面への微量成分吸着
(1)顕微FT-IR
(構造変化・%程度の付着物)
(2)TOF-SIMS(微量付着物)
液晶 イオン性成分の定性・定量 イオンクロマトグラフィ
微量不純物の有無 ICP-MS(金属)
有機元素分析
有機不純物・劣化生成物 (1)GC(パターン比較)
(2)差が出た場合はGC/MS等で同定
気泡 気泡中のガス成分調査 Raman
TG-MS
異物、異常 発生位置特定(形状観察) 断面SEM、TEM
微小異物同定 顕微FT-IR、SEM-XMA、μ-MS

部材

項目 分析項目・目的 適用手法
液晶 微量不純物 ICP-MS定性分析(~60元素)、定量分析
イオンクロマトグラフィ
組成分析 GC、GC/MS、HPLCなど
構造解析(周期長、層チルト角算出) X線回折
基板 洗浄性評価(汚染比較) XPS、TOF-SIMS
ピンポイント濃縮/顕微FT-IR
平滑性評価(粗さ測定) AFM(形態観察・Åオーダー)
透明電極(ITO) 組成分析 RBS、XPS
結晶性評価 XRD
Snの化学状態(酸素欠損・価数) 119Snメスバウアー
微細形状観察(ラフネス評価) SEM、AFM
カラーフィルター 最表面の不純物分析 TOF-SIMS
表面形態観察 AFM
加熱発生ガス分析(水分) TG-MS
加熱発生ガス分析(その他成分) TG-MS or GC/MS
顔料の同定 顕微Raman、顕微FT-IR
異物同定や各画素バインダー樹脂の定性 顕微FT-IR、SEM-XMA
配向膜 組成分析 加水分解・誘導体化GC/MS
FT-IR、NMR、熱分解GC/MS
配向評価 FT-IR
加熱発生ガス(水分) TG-MS
加熱発生ガス(その他成分) TG-MS or GC/MS
異物(はじき)同定 顕微FT-IR
TOF-SIMS
TFT poly-Siグレインの粒度・配向解析 EBSP/EBSD
不純物濃度分析 SIMS
ドーパント分布観察(LDD長の計測等) SCM、SSRM
SiN、SiO2膜中の不純物分析 SIMS
a-Si、poly-Si膜中の不純物分析 SIMS
a-Si、poly-Si膜の欠陥評価 ESR
その他 シ-ル材、粘着材、封止樹脂、偏光フィルター、ラビング布などの各種分析

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