パワーデバイス・ディスクリートデバイス

ディスクリート・パワー系デバイスは、電力制御やモータ制御等の用途に幅広く使われている。LSIとほぼ同様の分析手法が適用されるが、パワーデバイス特有の評価項目も存在する。

分析メニュー

評価項目 分析法
応力・歪・そり Raman
X線回折
TEM
NBD、CBED
歪ゲージ
組成・化学状態 XPS
AES
FT-IR
RBS
SIMS
蛍光X線、EPMA
TEM-EDX、EELS
NMR
構造・形状 TEM
SEM
AFM、STM
TEMトモグラフィ
欠陥・結晶性 PL、CL
Raman
TEM
X線回折
DLTS
キャリア濃度 SCM、SSRM
SR
FT-IR
ライフタイム μ-PCD
細孔径分布 小角X線散乱
陽電子消滅
TEM
分光エリプソメトリ
評価項目 分析法
密着性 4点曲げ
ナノインデンテーション
ラフネス AFM、STM
TEM、SEM
GIXR
ボイド TEM、SEM
界面構造・状態 TEM、SEM
AES
XPS
SIMS
異物・偏折 TEM、SEM
AES
Raman
クラック SEM、TEM
膜厚・密度 分光エリプソメトリ
GIXR
RBS
エッチング残渣 TDS、TPD-MS
SIMS
EELS
エッチングダメージ FT-IR
EELS
不純物プロファイル SIMS
汚染 ICP-MS
TOF-SIMS

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