原理
試料にX線(一次X線)を照射し、励起されて発生する二次X線(蛍光X線)を検出して元素の定性、定量を行う。K殻の電子のエネルギーよりも高いエネルギーの粒子線・光子を物質に与えるとK殻の電子が飛び出して空孔がでてくる。この空孔を埋めるために外殻からの電子が遷移する時、エネルギー差に相当する元素固有のX線が発生する。
波長分散型蛍光X線(WDX)
蛍光X線を分光結晶で分光してから検出する。
nλ = 2d sinθ ： ブラッグの条件
B(ほう素)～の元素を測定できます。EDXと比較して分解能が高くなる。
エネルギー分散型蛍光X線(EDX)
蛍光X線を半導体検出器で検出します。Na(ナトリウム)～の元素を測定できる。
その他無機分析の原理