原理
固体試料表面にレーザー光を集光して照射し、蒸発・微粒子化した試料をキャリアガスによりプラズマ内に導入して分解、イオン化する。生成したイオンを質量分析計で測定する。レーザー光が照射された領域が分析対象となるため、局所的な情報を得ることができる。

その他無機分析の原理
固体試料表面にレーザー光を集光して照射し、蒸発・微粒子化した試料をキャリアガスによりプラズマ内に導入して分解、イオン化する。生成したイオンを質量分析計で測定する。レーザー光が照射された領域が分析対象となるため、局所的な情報を得ることができる。
その他無機分析の原理