X線顕微鏡(X-Ray Microscope:XRM)

原理

 X線源から発生したX線を試料に照射して、試料を透過したX線の強度分布を検出することで、試料の内部構造を非破壊かつ大気下で可視化する。X線は、試料を透過する際に一部が吸収されて強度が低下するが、吸収される量は試料厚みや密度、構成元素によって異なるため、それらに由来したコントラストが得られる。また、試料を180°回転させながら連続取得したX線透過像をコンピュータ上で再構成処理することで、試料の三次元構造を可視化できる(X線CT)。

X線顕微鏡およびX線CTの原理図
ヒメツルソバ(Persicaria capitata)集合花のX線透過像
X線CT観察結果

《関連資料: The TRC News  記事No.201809-02》
高分解能X線顕微鏡による接着接合界面の構造解析
https://www3.toray-research.co.jp/technical-info/trcnews/pdf/201809-02.pdf(PDF)

《関連資料》
https://cs2.toray.co.jp/news/trc/news_rd01.nsf/0/185653B652242206492584B0000A47B8?open

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