分析電子顕微鏡（Analytical Electron Microscope：AEM）

原理

数百kVに加速した電子を試料に照射すると、透過や回折だけでなく種々の相互作用が起こる。これらの現象を利用するための検出器などを電子顕微鏡に取り付けて、極微小部の組成分析や状態分析などを行う。EDXやEELSを利用して1nm程度の空間分解能での元素分析は盛んに行われている。EELSによる化学状態分析も用いられるようになってきた。