電子プローブマイクロアナリシス法
(Electron Probe Micro Analyzer:EPMA)

原理

試料に電子線を照射すると、電子と物質は強い相互作用をおこし、下図に示したような様々な電磁波が放出される。中でも特性X線は元素ごとに固有の波長を持っている。このため特性X線を検出することによって、物質に含まれる元素の特定が可能である。
(注:特性X線は原子が外部からのエネルギー(この場合は電子線)によって励起された後、基底状態に戻るときに放出されるX線である。)
EPMAでは、この特性X線を分光結晶を用いて検出するため、EDX(Electron Dispersive X-ray Spectroscopy)よりも分解能が高く、高感度である。

試料表面から放出される信号
特性X線の発生原理

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