SIMSによる半導体不純物分析で国内初のISO/IEC 17025:2017試験所認定を取得

株式会社東レリサーチセンター（以下、TRC）は、SIMS（二次イオン質量分析）を用いた半導体中の不純物分析（ISO17560:2014／JIS K 0164:2023）において、国際規格であるISO/IEC 17025:2017の試験所認定を国内初で取得しました（※当社調べ：2024年12月25日）。
本認定により、当社のSIMS分析が国際レベルで技術能力を正式に認められ、高感度・高精度な不純物分析データを信頼性の高い形でご提供できることを証明するものです。今後ますます重要性が増す半導体産業において、グローバルな品質保証と技術支援に貢献してまいります。

1. ISO/IEC 17025:2017とは

ISO/IEC 17025:2017は、試験所が正確かつ信頼性のある分析結果を提供できる技術能力を持ち、適切に品質管理システムを運用していることを第三者が認定する国際規格です。世界各国の製品検査や分析・測定を担う試験所に課せられる要求事項が定められており、試験所としてグローバル水準の品質と技術力を保持している証明となります。
TRCでは、長年にわたり培ってきた品質保証活動と、技術力の向上に取り組み、本認定を取得しました。より詳細な品質保証の取り組みについては、以下のリンク先をご覧ください。
＞品質保証活動

2. SIMSによる不純物分析の重要性

2-1. SIMS（二次イオン質量分析）とは

SIMS（Secondary Ion Mass Spectrometry）は、固体表面にイオンビームを照射し、スパッタリングで生成した二次イオンを質量分析する手法です。深さ方向の分析が容易であり、微量元素を高感度に検出できる点が大きな特徴です。
詳しい分析原理や手法については、以下のページをご覧ください。
＞二次イオン質量分析（SIMS）

2-2. 半導体における不純物分析の役割

半導体デバイスでは、ドーパントなどの不純物の深さ方向分布を正確に把握・制御することが性能や歩留まりの向上につながります。SIMSは、半導体分野で最も利用される分析手法の一つです。
特に近年では、高集積化や微細化の進展により不純物制御が一層重要視されており、SIMSによる高精度分析が新技術開発や品質管理に欠かせない存在となっています。半導体の解析事例については、以下をご参照ください。
＞半導体・実装分析

3. 国内初のISO/IEC 17025:2017試験所認定を取得したSIMS分析

TRCは、SIMSによる半導体中の不純物分析（ISO17560:2014/JIS K 0164:2023）において、ISO/IEC 17025:2017の試験所認定を国内で初めて取得しました。これは、TRCのSIMS分析が国際的な品質基準に適合していると認められたことを意味します。

認定概要

• 機関名称：株式会社東レリサーチセンター　表面科学研究部 表面科学第1研究室（滋賀県大津市）
• 認定年月日：2024年12月10日
• 認定番号：RTL05240
• 認定機関：公益財団法人 日本適合性認定協会（JAB）

JAB公式サイトでも認定内容をご確認いただけます。
https://www.jab.or.jp/certification_institutions/2503

4. TRCの強みと今後の展開

TRCは1978年の設立以来、「高度な技術で社会に貢献する」という基本理念に基づき、先端材料・素材、半導体、ディスプレイ、電池、環境、医薬品・医療機器など幅広い分野での技術支援を続けてまいりました。

4-1. 半導体産業への貢献

• 研究・技術開発の支援：高精度の分析データを提供し、新製品の開発やプロセス最適化をサポートします。
• 量産プロセスでの品質管理：信頼性の高い分析により、工程中の課題発見や歩留まり向上を支援します。
• TRCのSIMS分析による不純物分析管理は、これらの取り組みを後押しします。

4-2. ISO/IEC17025認定のさらなる活用

今後は、市場拡大が見込まれる半導体産業において、グローバルレベルでの技術支援を一層強化してまいります。ISO/IEC 17025:2017認定を活かし、高信頼性のSIMS分析をご提供することで、半導体分野の発展に寄与いたします。

5. まとめ・お問い合わせ

TRCが国内初となるSIMSによる半導体不純物分析でのISO/IEC 17025:2017認定を取得したことで、より一層信頼性の高い分析サービスを提供できる体制が整いました。高感度・高精度の不純物分析データが必要な研究・開発・生産管理など、幅広いニーズに対応いたします。

SIMS分析をはじめとする各種分析のご依頼や詳細については、お気軽にご相談ください。さらに詳しい内容は、下記リンク先も併せてご覧いただけます。

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