spICP-MSを用いたフォトレジスト中の金属粒子分析

記事No. 202401-02
タイトル

spICP-MSを用いたフォトレジスト中の金属粒子分析
著者 無機分析化学研究部　酒井 碧
要旨 Single Particle ICP-MS(以下、spICP-MS)は、ICP-MSの高い感度と元素選択性を活かして特定の金属を含む微小かつ微量の粒子を検出し、その濃度および粒径分布を取得できる手法である。ここでは、spICP-MSの原理、およびフォトレジスト中の金属粒子を測定した事例を紹介する。
目次
（全3ページ）
  1. はじめに
  2. spICP-MSの原理と特徴
  3. 有機溶媒直接導入法
  4. フォトレジスト中のAl, Fe, Cu粒子分析
  5. まとめ
図表
  1. ICP-MSで検出される信号のイメージ　a. 溶存成分 b. 粒子成分 c. 溶存成分＋粒子成分
  2. ICP-MSで測定したCu, Fe, Alの濃度
  3. PGMEA中のAl, Fe, Cu粒子のspICP-MS測定結果
  4. フォトレジスト中のAl, Fe, Cu粒子のspICP-MS測定結果
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