新規RBS装置の導入
–微小領域における高感度・高精度組成分析–

記事No. 202102-04
タイトル

新規RBS装置の導入
–微小領域における高感度・高精度組成分析–
著者 表面科学研究部　齋藤 正裕
要旨 近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。
また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。
本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。
目次
（全4ページ）
  1. はじめに
  2. μRBSによる微小部組成分析
  3. NRAによる軽元素の高感度測定
  4. 重元素の質量分解能向上
  5. まとめ
図表
  1. 高速イオン散乱分析の概念図
  2. 新規RBS装置の特徴及び外観
  3. フレキシブルOLEDデバイスの光学顕微鏡写真
  4. RGB各画素で取得したRBSスペクトル
  5. 入射イオン：2.3 MeV He、散乱角160°における、各元素の質量分解能と感度（理論計算値）
  6. SiON膜(100 nm)/Si基板における、RBSスペクトル、NRAスペクトル
  7. IGZO膜(300 nm)/Si基板におけるRBSスペクトル
  8. IGZO膜のGa/Zn比の比較
サンプルページ
サンプルPDF
価格 PDF FILE (PDF:833KB)
2,200円（税込）
購入手続き

※お支払い完了後は”ショピングサイトに戻る”ボタンを押してください。PDFが開きます。