陽電子によるバリア膜や分離膜の気体輸送に関わるサブナノ空隙の評価

記事No. 202101-04
タイトル

陽電子によるバリア膜や分離膜の気体輸送に関わるサブナノ空隙の評価
著者 材料物性研究部　吉本　茂
要旨 革新的なバリア性や分離性などの気体輸送特性（ガスや蒸気の透過性、拡散性、収着性など）を持つ材料の開発ではサブナノ空隙（1 nm未満の空隙）構造の評価が重要になる。そのため、分子レベルの空隙を評価する技術が求められ、陽電子消滅寿命法は強力なツールとなる。
本稿では、polyethylene terephthalateおよびシリカ薄膜に対し、陽電子消滅寿命法と他手法を協奏的に活用することで、サブナノ空隙構造と気体輸送特性の関係にアプローチした例を紹介する。
目次
（全4ページ）
  1. はじめに
  2. 陽電子消滅寿命測定の原理
  3. 結晶化度の異なるPETに対する応用例
  4. 密度の異なるシリカ薄膜に対する応用例
  5. まとめ
図表
  1. 陽電子と電子が形成したポジトロニウムの様子
  2. 結晶化度の異なるPETの室温における酸素透過係数、拡散係数、溶解係数
  3. 結晶化度の異なるPETの室温・真空下におけるo-Ps寿命および形成確率
  4. シリカ薄膜の厚さおよび密度
  5. シリカ薄膜の室温真空下におけるSi -Oのピーク強度で規格化したFT-IRスペクトル
  6. PECVD膜2種のヘリウム気流下（湿度0%r.h.）における水の脱離速度データ
  7. シリカ薄膜の単位体積当たりの脱離水量
  8. シリカ薄膜の室温真空下におけるD-規格化強度の深さ方向プロファイル
  9. OH基由来の積分強度とシリカ薄膜由来の/D（平均値）の関係
  10. シリカ薄膜の室温真空下における陽電子寿命データ
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