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高空間分解能の結晶方位解析と結晶相マッピング
～ ASTAR*を用いたACOM-TEM法 ～
＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標です。

記事No. 201905-01
タイトル

高空間分解能の結晶方位解析と結晶相マッピング
～ ASTAR*を用いたACOM-TEM法 ～
＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標です。
著者 形態科学研究部　久留島 康輔
要旨 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である（各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2～5 nm）。
また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得ることで定量的な解釈が可能である。
さらに、TEM観察と同一視野で測定できることから、(S)TEM-EDX / EELSと合わせた複合的な解析やin-situ TEMとの併用も可能となる。
目次
（全4ページ）
  1. はじめに
  2. ASTARを用いたACOM-TEM法
  3. ASTARを用いた分析例
  4. まとめ
図表
  1. 各手法における計測系の構成（模式図）
  2. Au蒸着膜におけるASTAR測定結果
  3. 劣化した電池セル内のLiNi1/3Co1/3Mn1/3O2におけるSTEM観察およびASTAR測定結果
  4. 各EBSD法とASTARの測定範囲と空間分解能のまとめ
サンプルページ
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