走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）

原理

SEMは虫眼鏡(凸レンズ)で太陽の光を1点に集束するように、電子レンズを使って電子線を微小径に集束し、試料上に照射する。この入射電子ビームを試料上に走査させ、試料から放出される2次電子像(主に試料表面の微細な凹凸像)及び反射電子像(組成像：平均原子番号，結晶方位に依存)を検出することで像を得る顕微鏡である。
EDX(Electron Dispersive X-ray Spectroscopy)を装備しており、1μm前後の領域の元素分析も可能である。