The TRC News

2019年3月号

  • 記事No. 201903-01

    最先端SIMS分析装置「NanoSIMS 50L」を用いた微小領域の高感度イメージング分析

    最先端の二次イオン質量分析(SIMS)装置であるNanoSIMS 50Lは、プローブ径約50 nmのイオンビームと、透過率の高い質量分析系の併用により、従来のSIMSに比べて約2桁高い空間分解能でイメージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹介する。

    著者: 表面科学研究部 鮫島 純一郎

    PDF FILE (PDF:591KB)

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2019年2月号

  • 記事No. 201902-01

    DPC-STEMを用いたポリマー相分離構造の解析

    走査透過型電子顕微鏡(STEM)の測定手法の一つである微分位相コントラスト(DPC)-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。

    著者: 形態科学研究部 稲元 伸

    PDF FILE (PDF:703KB)

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  • 記事No. 201902-02

    大気圧RBS分析の開発 –液体・湿潤試料の表面分析–

    多くの場合、表面分析において分析対象は真空に保持できるものに限定される。一方で、高速イオンのポテンシャルを応用すれば、分析プローブを大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法(RBS)を検討し、その実現に成功した。本稿では大気圧RBSによる固体/液体界面の深さ方向分析、HeLa細胞中量子ドットの深さ分布評価、及び大気圧RBS/HFS(水素前方散乱分析)による湿潤試料中水素の深さ方向分析事例を報告する。

    著者: 表面科学研究部 齋藤 正裕

    PDF FILE (PDF:875KB)

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2019年1月号

  • 記事No. 201901-01

    Ga2O3膜の分析評価技術

    SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム(Ga2O3)は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイア基板上に作製したGa2O3膜の結晶構造解析、および不純物、欠陥評価を行った事例について紹介する。

    著者: 表面科学研究部 中田 由彦

    PDF FILE (PDF:940KB)

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  • 記事No. 201901-02

    ナノメートルスケールの局所構造解析を実現する最先端分光手法の開発

    金属チップ先端などに局在化する近接場光を利用した分光分析技術はナノメートル領域の化学構造の解析を可能にする手法として強く期待されている。チップ増強ラマン分光法や近接場ラマン分光法はその代表的な手法であり、原理解明や応用に関する様々な研究が行われてきた。本稿ではそれらの材料分析への適用例を示し、材料解析に対する実用性について言及する。

    著者: 技術開発企画部 村上 昌孝

    PDF FILE (PDF:847KB)

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