The TRC News

当社は、1982年1月に技術情報誌"The TRC News"を創刊し、以来一貫して、皆様の研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報発信に努めてまいりました。今後、さらにお役に立つ技術情報を発信することを目指し、2021年1月から当社技術者からの分析技術情報を有料化させていただくことになりました。なお、招待講演の先生の記事はこれまで通り無料で配布しております。

今月は、構造化学研究部から2件、表面分析化学研究部から2件の計4件の分析技術情報をご紹介いたします。是非ご覧いただければ幸いです。

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2021年7月号

  • 記事No. 202102-01

    新規蛍光分光装置を用いた近赤外発光、ナノ秒蛍光寿命測定

    新規蛍光分光装置を導入し、紫外可視領域の測定に加えて近赤外領域の発光測定、またナノ秒程度の蛍光寿命測定が可能となった。新規蛍光分光装置の特徴とそれらの測定例について紹介する。

    著者: 構造化学研究部 熊沢 亮一

    PDF FILE (PDF:765KB)

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  • 記事No. 202102-02

    微小部赤外分光イメージング分析の最新技術

    微小部赤外分光分析において、高空間分解能装置の開発が進んでいる。本稿では、従来技術の延長線上にある顕微ATRイメージングと、赤外光の回折限界を越えた空間分解能を有する光熱変換赤外分光法(O-PT-IR法)を用いた微小部赤外分光イメージング技術の適用例を紹介する。

    著者: 構造化学研究部 岡村 槙二
            青木 靖仁

    PDF FILE (PDF:921KB)

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  • 記事No. 202102-03

    XAFSによる半導体中の微量ドーパントの状態評価

    半導体へのドーパント添加は、電気特性を制御する上で非常に重要な技術であり、添加によるキャリア発生のメカニズムは固体物理の理論に基づいて理解されているが、ドーパント元素における直接的な化学状態や配位環境の評価事例は少ない。元素ごとの状態評価は、XAFSにより可能であるが、近年の検出器の感度向上などにより、微量のドーパント元素の化学状態や配位環境を感度よく観測できるようになってきた。本稿では、XAFS を用いたシリコン半導体に含まれるヒ素およびリンの状態評価の事例を紹介する。

    著者: 表面科学研究部 国須 正洋

    PDF FILE (PDF:653KB)

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  • 記事No. 202102-04

    新規RBS装置の導入 –微小領域における高感度・高精度組成分析–

    近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。

    著者: 表面科学研究部 齋藤 正裕

    PDF FILE (PDF:833KB)

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