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マルチイオン種プラズマFIB/SEM（Helios 5 Hydra）
機能と特徴
- 大電流ビーム（従来比～40倍）による高速／広域加工
- 4種のイオン（Xe, Ar, O, N）による新規アプリケーション
- 高分解能SEMによる加工終点確認
- 大気非暴露による変質を抑制した加工・観察
- クライオ環境による熱ダメージを抑制した加工・観察
- EDXによる加工断面の構成元素把握
- 大容量3D-SEM測定による解析データ増加と高精度な統計解析
| イオン種 | FIB電流値 |
|---|---|
| Xe | ～2.5 μA |
| Ar | ～4.0 μA |
| O | ～1.0 μA |
| N | ～2.0 μA |
| Ga（従来） | ～65 nA |
分析例
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料金体系
- 利用料金
- 1回（1日）基本料金 ＋ オプション料金
＊お問い合わせ内容に基づきお見積り致します。
基本料金内で実施可能な内容
- 利用内容の事前討議
- 画像取得
- 取得データの記録メディア保存
- イオン種切り替え
- Easy-lift（ピックアップ）
- 3DSEM測定
- EDX測定
- 9～17時までの利用
オプション項目
- クライオ環境での加工・観察
- 不活性搬送
- 画像解析
- 試料前処理（染色、導電処理など）
- 試料保管
- データ保管*
- 時間延長
- 複数日連続利用（夜間加工など）
＊通常は、利用終了後、消去します