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原子分解能S/TEM（特殊仕様Grand ARMⅡ）
機能と特徴
- 加速電圧の高選択性、TEM/STEMダブルコレクター（DELTA）
- SEMとSTEM像の同時観察
- 高感度EDX／EELS検出器搭載
- 大気非暴露・加熱・冷却の各測定
- 動画での原子レベルin-situＴＥＭ測定
- 低損傷・高分解能STEM測定（Ptychography、OBF、EDM etc.）
- トモグラフィによる三次元観察
分析例
関連技術資料
- ハイエンド原子分解能S/TEMを導入しました
- ハイエンド原子分解能STEM測定例
- 低加速電圧STEMによる二次元物質MoS2観察
- Characterization of dry etch-induced surface damage of β-Ga2O3 using OBF-STEM imaging
料金体系
- 利用料金
- 1回（1日）基本料金 ＋ オプション料金
＊お問い合わせ内容に基づきお見積り致します。
上記料金内で実施可能な内容
- 加速電圧80kV以上での測定
- 画像の取得
- 取得データの記録メディア保存
- 9～17時までの利用
オプション項目
| 測定時オプション | 低加速電圧測定（40 kV, 60 kV） |
|---|---|
| 動画取得 | |
| クライオ測定 | |
| 加熱測定 | |
| 通電測定 | |
| その他特殊環境下測定 | |
| その他特殊機能を用いた測定 （Ptychography、OBF、EDM 等） |
|
| （不活性）大気非暴露搬送 |
※試料加工のご希望がある場合は、別途ご相談ください
| 前処理等 | 試料前処理（クリーニング） |
|---|---|
| 試料事前コンディショニング（前日から準備） | |
| 試料保管（指定期間） | |
| データ | データ解析 |
| データ保管* | |
| 時間・日数 | 時間延長 |
| 複数日連続利用 | |
| 結果の解釈・コンサル | データ取得後のディスカッション |
＊通常は、利用終了後、消去します