Evaluation of defects and chemical bonds at SiO2/Si and SiO2/SiC interfaces
発表者
●Hirofumi Seki, Hideki Hashimoto
学会・雑誌
29th International Conference on Defects in Semiconductors
種類
口頭
発表日
2017/8/1
ラマン分光法による封止樹脂に起因する半導体パッケージの応力評価
発表者
●内田 智之・杉江 隆一・伊藤 元剛
学会・雑誌
第27回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
種類
ポスター
発表日
2017/8/29
Effect of heat treatment on the nanoporosity of silica PECVD films elucidated by the low-energy positron lifetime technique and ellipsometric porosimetry