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NanoSIMS

二次イオン質量分析(SIMS)装置の一種であるNanoSIMS 50Lを海外を含めた受託分析機関として初めて導入しました。従来のダイナミックSIMS、TOF-SIMSでは不可能な最小50 nmの高空間分解能でイメージング分析、デプスプロファイル分析が可能です。

NanoSIMSの特徴

NanoSIMSとSEM-EDX、EPMAとの比較

機能 NanoSIMS SEM-EDX EPMA
プローブ イオンビーム
(Cs+、O-)
電子線 電子線
空間分解能 ~50 nm ~100 nm ~100 nm
検出下限 ~ppm 0.数 wt% 0.0X~0.1 %
元素 H~U B~U B~U
定性分析 ×
定量分析 定量分析(STD必要) 半定量分析(STD不要) 半定量分析(STD不要)
定量分析(STD必要)
特徴 ・不純物高感度分析
・同位体分析
・深さ方向分析
・空間分解能が高い
・多元素定性分析
・測定時間が短い
・空間分解能が高い
・多元素定性分析

NanoSIMS 50LとD-SIMS、TOF-SIMSの比較

機能 NanoSIMS 従来のダイナミックSIMS TOF-SIMS
一次イオン種 Cs+、O- Cs+、O- Bi++、Cs+、O-、
GCIB(Arクラスター)
最少ビーム径(空間分解能) 50 nm 10 μm ~300 nm
分析深さ 数10 nm~1 μm 5 nm~100 μm 1~2 nm(最表面)
質量分析計 二重収束型 セクター磁場型四重極型 飛行時間型
不純物分析
化学情報 × ×
イメージング

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