液晶パネルでは、2枚の基板に挟んだ液晶分子の配向を変化させることで、光源からの光の透過を制御し、画像表示を行います。液晶分子、配向膜、透明電極、カラーフィルターなどの多層薄膜からなります。
分析メニュー
液晶パネル(表示異常など)
| 項目 | 分析項目・目的 | 適用手法 |
|---|---|---|
| 配向膜 | 配向膜自体の変性や 配向膜表面への微量成分吸着 |
(1)顕微FT-IR (構造変化・%程度の付着物) |
| (2)TOF-SIMS(微量付着物) | ||
| 液晶 | イオン性成分の定性・定量 | イオンクロマトグラフィ |
| 微量不純物の有無 | ICP-MS(金属) | |
| 有機元素分析 | ||
| 有機不純物・劣化生成物 | (1)GC(パターン比較) | |
| (2)差が出た場合はGC/MS等で同定 | ||
| 気泡 | 気泡中のガス成分調査 | Raman |
| TG-MS | ||
| 異物、異常 | 発生位置特定(形状観察) | 断面SEM、TEM |
| 微小異物同定 | 顕微FT-IR、SEM-XMA、μ-MS |
部材
| 項目 | 分析項目・目的 | 適用手法 |
|---|---|---|
| 液晶 | 微量不純物 | ICP-MS定性分析（～60元素）、定量分析 |
| イオンクロマトグラフィ | ||
| 組成分析 | GC、GC/MS、HPLCなど | |
| 構造解析（周期長、層チルト角算出） | X線回折 | |
| 基板 | 洗浄性評価（汚染比較） | XPS、TOF-SIMS |
| ピンポイント濃縮/顕微FT-IR | ||
| 平滑性評価（粗さ測定） | AFM（形態観察・Åオーダー） | |
| 透明電極（ITO） | 組成分析 | RBS、XPS |
| 結晶性評価 | XRD | |
| Snの化学状態（酸素欠損・価数） | 119Snメスバウアー | |
| 微細形状観察（ラフネス評価） | SEM、AFM | |
| カラーフィルター | 最表面の不純物分析 | TOF-SIMS |
| 表面形態観察 | AFM | |
| 加熱発生ガス分析（水分） | TG-MS | |
| 加熱発生ガス分析（その他成分） | TG-MS or GC/MS | |
| 顔料の同定 | 顕微Raman、顕微FT-IR | |
| 異物同定や各画素バインダー樹脂の定性 | 顕微FT-IR、SEM-XMA | |
| 配向膜 | 組成分析 | 加水分解・誘導体化GC/MS |
| FT-IR、NMR、熱分解GC/MS | ||
| 配向評価 | FT-IR | |
| 加熱発生ガス（水分） | TG-MS | |
| 加熱発生ガス（その他成分） | TG-MS or GC/MS | |
| 異物（はじき）同定 | 顕微FT-IR | |
| TOF-SIMS | ||
| TFT | poly-Siグレインの粒度・配向解析 | EBSP/EBSD |
| 不純物濃度分析 | SIMS | |
| ドーパント分布観察（LDD長の計測等） | SCM、SSRM | |
| SiN、SiO2膜中の不純物分析 | SIMS | |
| a-Si、poly-Si膜中の不純物分析 | SIMS | |
| a-Si、poly-Si膜の欠陥評価 | ESR | |
| その他 | シ－ル材、粘着材、封止樹脂、偏光フィルター、ラビング布などの各種分析 | |