TRCSではXPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy：X線光電子分光分析法）による材料の表面分析・深さ方向分析が可能です。
GCIB（Gas Cluster Ion Beam）を搭載しているため、表面の損傷を最小限に抑えた測定が行えます。【図1】
市販のポリエチレンフィルムをプラズマ処理（表面改質）した際の表面および深さ方向の変化をXPSで分析した結果を【表1】【図2】【図3】に示します。表面分析の結果、プラズマ処理によりフィルム表面のC-O、C-N、C=O、COO成分が顕著に増加し、酸素官能基の濃度が増加していることがわかりました。また、深さ方向分析の結果、約20nm（酸素濃度が半分になる深さを処理深さと定義）の深さまで改質されていることが確認されました。
当社は、現地法人であるTRCSの利点を最大限に活用し、今後益々拡大する中国の先端分析需要にお応えし、中国での事業拡大を進めて参ります。
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