Anisotropic stress observation of 4H-SiC Trench-Test MOSFET structures by Scanning Near-field Optical Raman Microscope
発表者
M.Yoshikawa, M. Murakami, ●T. Uchida, J. Samejima, K. Mitsuzawa, N. Matoba, M. Lim1, O. Rusch1, and M. Rommel1 (1:Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB)
学会・雑誌
ICSCRM2023(イタリア)
種類
ポスター
発表日
2023/9/21
傾斜エッチングを利用したエリプソメトリーによる絶縁膜のエッチングレート評価
発表者
●鈴木 亜紀・井上 敬子・棚橋 優策・関 洋文
学会・雑誌
第 84 回 応用物理学会秋季学術講演会・熊本
種類
ポスター
発表日
2023/9/22
Interface and oxide trap states of SiO2/GaN metal–oxide–semiconductor capacitors and their effects on electrical properties evaluated by deep level transient spectroscopy
Study on electron trap states of Al implanted Ni/SiC Schottky barrier diodes using DLTS
発表者
●Shingo Ogawa , Tom Becker*, Julietta Foerthner, née Weiße*, Seishi Akahori, Hideki Sako, Mathias Rommel*, and Masanobu Yoshikawa (* Fraunhofer Institute of Integrated Systems and Device Technology IISB)
学会・雑誌
International Conference on Silicon Carbide and Related Materials(イタリア)
種類
ポスター
発表日
2023/9/21
Characterization of Crystal Defects in 4H-SiC bulk and Epitaxial Wafers by Conventional TEM and Atomic-Resolution STEM Techniques
発表者
●Hideki Sako, Kenji Kobayashi2, Kentaro Ohira1, Hayashi shohei, Toshiyuki Isshiki2, (1Hitachi High-Tech Corp., 2Kyoto Institute of Technology)
学会・雑誌
The 20th International Microscopy Congress(IMC20)(Korea)
種類
口頭 (invited)
発表日
2023/9/14
Structural and optical property investigation of a single GaAs/AlGaAs core-shell nanowire using STEM-Cathodoluminescence