デジタル家電製品、携帯電話、PC、自動車などは、多くの先端的な半導体デバイスやセンサが使われることにより、高性能化、小型化、省電力化などを実現しています。 半導体製造プロセスは常に進化しており、製品は高度化・高信頼性化しています。 半導体分野においては、デバイス(製品)の劣化や耐久性・信頼性の評価だけでなく、各プロセスで生じる様々な課題に対する分析・評価も重要になってきています。