無機分析

工業材料の組成分析から不純物分析、半導体材料中の超微量元素分析、医薬品や生体試料中の微量分析など、様々な分野の無機元素分析を行っております。化学分析による定量分析に加えて、固体試料の直接分析も対応しております。
また、無機イオン、低分子有機酸、低分子アミン類などのイオン成分分析につきましても工業材料、半導体関連、電池関連の分析など幅広く実施しております。

ICP発光分光分析法

Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy:ICP-AES

各種材料中の主成分から微量成分まで無機元素を定性・定量分析できる手法です。
薄膜の組成分析など金属元素を高精度で定量分析できる手法です。
測定元素が多く、Li、B、P、Si などの測定も行っています。

原子吸光分析法

Atomic Absorption Spectrometry:AAS

各種材料中の主成分から微量成分まで無機元素を定量分析できる手法です。
黒鉛炉加熱原子吸光分析では超微量無機元素分析を行っています。
水素化物発生-AASや還元気化-AASにより、As、Se、Hgを高感度で測定しています。

ICP質量分析法

Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry:ICP-MS

各種材料中の超微量無機元素分析を行うことができる高感度な手法です。
シリコンウェハなど各種基板表面の超微量金属汚染分析が可能です。
同位体比分析も可能です。

レーザーアブレーションICP質量分析法

Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry:LA-ICP-MS

固体試料中の無機元素を溶液化の前処理なく直接分析できる高感度な手法です。
指定部位の分析、指定元素のマッピング分析、深さ方向分析が可能です。
標準物質を測定することで、定量分析も可能となります。

グロー放電質量分析法

Glow Discharge Mass Spectrometry:GDMS

金属、半導体中の無機元素分析を溶液化の前処理なく直接分析できる高感度な手法です。
標準試料が不要で、半定量値を得ることができます。
板状試料を用いれば、深さ方向分析が可能となります。

蛍光X線分析法

X-Ray Fluorescence Spectrometry:XRF

各種材料中の元素(5B~92U)を非破壊で迅速に定性・定量分析できる手法です。
ICP-AES等では分析の難しいハロゲンやS、C、O、Nも測定可能です。
基板試料の元素マッピングも可能です。

イオンクロマトグラフィー

Ion Chromatography:IC

水溶液中の無機イオン、低分子有機酸、低分子アミン類を高感度で定量できる手法です。
固体試料(水抽出)、気体試料(溶液捕集)中の酸、塩基を高感度で測定できます。
イオンクロマトグラフ質量分析法(IC-MS, IC-MS/MS)による測定も実施しています。

キャピラリー電気泳動法

Capillary Electrophoresis:CE

水溶液中の無機イオン、低分子有機酸、低分子アミン類などを定性・定量できる手法です。
少量の試料で測定でき、同時に他成分の測定ができます。
ICよりも分離能が高く、ICでは分離・検出が難しい成分の測定が期待できます。

イオン選択性電極法

Ion Selective Electrode:ISE

溶液中の特定イオンを定量分析できる手法です。ふっ化物イオンの測定に利用しています。
固体試料中のふっ素(F)元素分析も可能です。