'TORAY'Innovation by Chemistry

異物分析
マイクロサンプリング技術について 異物分析110番へようこそ!  高度な技術力であなたのお悩みを解決します!  ぜひご利用ください!
CONTENTS
当社の異物分析の特長
異物分析に有効な分析手法
顕微赤外分光法による異物分析
 
マイクロサンプリング技術について
得られたデータの解釈と予備データの重要性
顕微赤外分光法の問題点
分析事例
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 どうやってサンプリングするのか?
基本的なサンプリング方法は以下のとおりだが、この限りではありません!
実体顕微鏡(最大200倍程度)の下で、特殊な道具を使って、人の手でサンプリングします。
サンプリングした異物等は、無機結晶板上などに移して測定します。
我々のグループではマニピュレーター(機械)は使用していません。
感触は機械だけでは不十分!!


 どの程度の大きさまでサンプリングできるのか?
試料形態、異物形態などによって、検討が必要になるが基本的には以下のとおりです。
ガラス基板、金属等の凹凸のない硬いものの上にある異物であれば、5μmでもサンプリング可能です。
ただし、液体や粘性の低いものは不可(液体は異物自体が大きくても難しい)。
内部に存在する場合、フィルムなどの柔らかいものであれば、10μmあればサンプリング可能です。

また、異物ではなく、層構成を知るためなど、膜をどれくらいの厚みでサンプリングできるかというと、膜の材質などにもよるが、0.1μmくらいの厚みでもサンプリング可能です。

なお、顕微ラマンは異物が表面付近であればサンプリングせずに0.5μm程度まで測定可能です。


 どれくらいサンプル量が必要なのか?
顕微ラマン 数pg
顕微赤外、SEM-XMA 数十pg
マイクロMS サブng


マイクロサンプリング実施例
数μm程度の有機層であれば各層ごとにサンプリングを行い分析することができます。

しかも、短時間でサンプリング可能!
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