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基本的なサンプリング方法は以下のとおりだが、この限りではありません!
実体顕微鏡(最大200倍程度)の下で、特殊な道具を使って、人の手でサンプリングします。
サンプリングした異物等は、無機結晶板上などに移して測定します。
我々のグループではマニピュレーター(機械)は使用していません。 |
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感触は機械だけでは不十分!! |
試料形態、異物形態などによって、検討が必要になるが基本的には以下のとおりです。
ガラス基板、金属等の凹凸のない硬いものの上にある異物であれば、5μmでもサンプリング可能です。
ただし、液体や粘性の低いものは不可(液体は異物自体が大きくても難しい)。
内部に存在する場合、フィルムなどの柔らかいものであれば、10μmあればサンプリング可能です。
また、異物ではなく、層構成を知るためなど、膜をどれくらいの厚みでサンプリングできるかというと、膜の材質などにもよるが、0.1μmくらいの厚みでもサンプリング可能です。
| なお、顕微ラマンは異物が表面付近であればサンプリングせずに0.5μm程度まで測定可能です。 |
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| 顕微ラマン |
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数pg |
| 顕微赤外、SEM-XMA |
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数十pg |
| マイクロMS |
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サブng |
| マイクロサンプリング実施例 |
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数μm程度の有機層であれば各層ごとにサンプリングを行い分析することができます。
しかも、短時間でサンプリング可能! |
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