有機ELディスプレイ(OLED)は、自発光型(面発光)・視野角が広い・応答速度が速い・薄い・消費電力が小さいなどの特徴があり、次世代のディスプレイの本命とも言われています。また、自発光という特徴から照明用途としても有望視されています。
分析メニュー
| 部位・部材 | 分析項目・目的 | 適用手法 |
|---|---|---|
| 有機膜 （薄膜） |
特定部位における蛍光・発光分析 | PL、 EL(スペクトルを含む) |
| 組成・構造解析 | GCIB-TOF-SIMS、HPLC-UV・FL、LC/MS、LDI-MS、低温プローブNMR | |
| 局所組成分析 | µ-FT-IR、 µ-MS、 Raman | |
| 結晶性、 Tg評価 | In-PlaneX線回折、 μ-TA、 Raman | |
| 配向状態 | 偏光FT-IR、 分光エリプソメトリ、Raman、XAFS | |
| 不純物、劣化生成物 | GCIB-TOF-SIMS、HPLC-UV・FL、LC/MS、µ-FT-IR、 µ-MS、斜め切削+(PL、TOF-SIMS、FT-IR、XPS) | |
| 陰極材料拡散、 無機不純物 | SIMS、Backside SIMS、HAXPES | |
| 膜密度 | GIXR | |
| 膜厚、 光学定数測定 | 分光エリプソメトリ | |
| 断面観察、 局所元素分析 | FIB-TEM、 TEM-EDX、TEM-EELS | |
| 膜の表面微細構造・粗さ評価 | AFM | |
| 単膜の仕事関数 | XPS | |
| 陰極 | 深さ方向元素分析 | SIMS |
| 表面組成・化学状態 | XPS | |
| 有機材料 | 金属不純物 | ICP、 ICP-MS |
| 有機不純物、 劣化生成物 | HPLC-UV・FL、 LC/MS、カラム分取+(FT-IR、NMR等) | |
| 熱物性（耐熱性） | TG、 DSC | |
| 加熱発生ガス | TPD-MS | |
| TFT | poly-Siグレインの粒度・配向解析 | EBSP／EBSD |
| poly-Si不純物濃度分析 | SIMS | |
| ドーパント分布観察(LDD長の計測) | SCM、 SSRM | |
| 透明電極 | 組成分析 | RBS、 XPS |
| 結晶性評価 | XRD | |
| Snの化学状態(酸素欠損・価数) | 119Snメスバウアー | |
| 微細形状観察（ラフネス評価） | SEM、 AFM | |
| 封止 | 封止缶内のガス分析 | TPD-MS |
| 封止樹脂からの発生ガス | TG-MS | |
| 保護膜評価 | SIMS、 RBS、 FT-IR |