分析基礎講座【分析電子顕微鏡の基礎】

講座概要

分析電子顕微鏡法は、（S）TEM（透過型電子顕微鏡）装置に各種分光器（EDX, EELSなど）が搭載された装置を用います。電子線をプローブに用いることから、極微小領域の元素組成分析、電子状態解析および結晶構造の解析が可能な手法です。TEMでイメージを確認しながら測定位置を指定し、構造情報を得られるため、微小領域の解析では欠かせない手法となっています。測定に用いる試料は電子線を透過できる程度（100 nm程度以下）に薄膜化する必要があります。薄膜加工法を材料毎に適切な前処理法を選択することで、無機材料、有機材料、それらの複合材料などの測定も可能となります。

本講座では、これから分析電子顕微鏡を利用していく予定の方や、分析電子顕微鏡で得られた結果の解釈を深めていきたい方を対象にして、分析電子顕微鏡の原理や得られる情報について説明し、分析電子顕微鏡法を用いた測定事例について具体例を取り上げご紹介いたします。

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